潔凈室的濕度關(guān)鍵是依據(jù)加工工藝標準來確定的，但在考慮加工工藝規(guī)定的標準下，應(yīng)充分考慮人員的舒適感。隨之空氣潔凈度要求的提升，出現(xiàn)了加工工藝對溫度濕度的規(guī)定也愈來愈嚴。總體標準看，因為生產(chǎn)加工精密度愈來愈細致，因此對溫度起伏范疇的規(guī)定愈來愈小。比如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光加工工藝中，做為掩膜板原材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差規(guī)定愈來愈小。直徑100 um的硅片，溫度升高1度，就造成了0.24um線形澎漲，因此務(wù)必有±0.1度的控溫，另外環(huán)境濕度值通常較低，由于人流汗之后，對產(chǎn)品將有污染，尤其是怕鈉的半導體材料生產(chǎn)車間，這類車間不宜超出25度。